Ingenieurbüro für Angewandte Spektrometrie

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Schichtdickenmessung - Schematischer Aufbau

Die Interferenzspektren von dünnen transparenten oder teiltransparenten Schichten werden von den TranSpec Lite Schichtdicken-Messgeräten oder im Prozess mit einem TranSpec Spektrometer in 19-Zoll Technik gemessen und ausgewertet.

Die Abbildung rechts zeigt schematisch den Aufbau eines solchen Schichtdicken-Messplatzes. Die zu messende Schicht wird über einen zweiarmigen Y-Lichtleiter bestrahlt, der mit dem Spektrometer und der Halogenleuchte (integriert im Gehäuse) verbunden ist.

Schematischer Messaufbau zur Schichtdickenmessung


Das reflektierte Interferenzspektrum der Probe wird dem Spektrometer zugeführt, spektral analysiert und anschließend daraus die Schichtdicke berechnet.

 


TranSpec Lite Schichtdicken-Messgerät


TranSpec Prozess-Spektrometer